在陶瓷表面通過技術手段附著上一層特殊涂層后，使半導體陶瓷的性能發(fā)生變化，目前這種工藝在半導體制品生產(chǎn)過程中已經(jīng)非常廣泛。例如用于顆粒污染控制的紋理陶瓷涂層。對于靜電夾盤，噴涂氧化鋁涂層用作電極上的絕緣層，這些電極已嵌入單片氧化鋁夾盤中。覆蓋在電極上的絕